隨著28nm制造工藝成熟度邁上90%，臺積電已經開始為其日后產能的保證進行新一輪的籌備。最新報道稱，臺積電計劃投資100億美元新建 Fab 16 300mm晶圓廠，投產后月產能在10萬片。再加上其它三座工廠，屆時臺積電300mm晶圓月總產能將達到60萬片。
為了抗衡Globalfoundries，捍衛全球第一大300mm晶圓高端芯片制造大廠的地位，臺積電今年開始逐步拓展已有Fab 12和Fab 14晶圓廠的產能，并開始投建Fab 15晶圓廠，它將在2012年初量產。
然而這些動作似乎還不能顯示臺積電在300mm晶圓地盤上的野心，最新消息顯示，臺積電還在籌劃擁有巨大產能的Fab 16晶圓廠，它將耗資100億美元。
和之前的Fab 12、Fab 14不同，Fab 16新廠將分五期建成，要想完全投入運行需要花費數年的時間。目前關于該工廠的具體信息尚未得到披露，臺積電也并未辟謠。不過一旦Fab 16建成并全面投入生產，臺積電300mm晶圓總產能將達到每月60萬片。
據悉Fab 16將于2014年開始建設，選址臺中科技園，它將是臺積電第二座28nm工藝產品生產工廠。臺積電28nm工藝設備目前主要安置在位于新竹工業園內的Fab 12晶圓廠。
截止到今年年底，臺積電Fab 12和Fab 14的300mm晶圓月總產能預計將超過24萬片。一旦Fab 15投產，300mm晶圓月產能將上升到34萬片，捍衛自家全球第一大半導體代工廠的地位不在話下。
Fab 16不僅是臺積電最大的工廠投建項目，它也是世界上最貴的半導體代工廠。考慮到臺積電計劃在2014年開始投建該工廠，Fab 16預計同樣支持450mm晶圓生產。
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